표준 펌프 사양
| 모델 | TMP-B300 | |||
|---|---|---|---|---|
| 냉각 방법 | 자연적으로 공랭식 | 강제 공기 냉각 | 물 냉각*1 | |
| 압력 달성*3 | 베이킹 후 | *2 | 10-8PA 주문*3 | 10-8PA 주문*3 |
| 베이킹 전 | 10-6PA 주문 | 10-6PA 주문 | 10-6PA 주문 | |
| 배기 속도*4 | n2 | 280L/S | 280L/S | 280 l/s |
| he | 270L/S | 270L/S | 270 l/s | |
| H2 | 220L/S | 220L/S | 220 l/s | |
| 최대 압축 비율 | n2 | 1 × 109 | 1 × 109 | 1 × 109 |
| HE | 7 × 106 | 7 × 106 | 7 × 106 | |
| H2 | 1 × 105 | 1 × 105 | 1 × 105 | |
| 임계 등 압력 | 1300PA | 1300PA | 1300 PA | |
| 연속 조작 완벽한 최대 배기 압력*5 |
n2 | 100PA (35 ° C 미만의 주변 온도) |
1000 PA (25 ° C 미만의 주변 온도) 930 PA (주변 온도 35 ° C 이하) |
1300 PA (40 ° C 미만의 주변 온도) |
| 지속적인 작동 가능 n2가스 유량 |
10 SCCM (주변 온도 : 25 ° C) 4 SCCM (주변 온도 : 35 ° C) |
100 SCCM (주변 온도 : 25 ° C) 40 SCCM (주변 온도 : 35 ° C) |
240 SCCM (40 ° C 미만의 주변 온도) |
|
| 질량 | ICF | 9.4 kg | 9.7 kg | 10.1 kg |
| vg | 6.3 kg | 6.6 kg | 7.0 kg | |
| ISO | 6.0 kg | 6.3 kg | 6.7 kg | |
| KF | - | - | - | |
| 바카라 게임 방법 | 반발 마그네틱 바카라 게임, 세라믹 볼 바카라 게임 | |||
| 흡기 플랜지 | VG100, ICF152, ISO100 | |||
| 배기 벤트 플랜지 | KF16 | |||
| 지정된 회전 속도 | 60000 rpm | |||
| 시작 시간 (최대 80%) | 3.5 분 | |||
| 설치 방향 | All-Way | |||
| 노이즈 [측정 방법에 따라]*6 |
<50 dB (a) | |||
| 허용 가능한 자기 플럭스 밀도 | RADIUS | 3 MT | ||
| 축 방향 | 15 MT | |||
| 전원 공급 장치 |
전압 | DC24 V ± 5 % | ||
| 최대 전력 필수 | 180 W | |||
- *1 : 냉각수 온도 : 이슬점 위, 28 ° C 미만, 냉각수 유량 : 1L/min
*2 : 베이킹은 ICF 플랜지가 강제 공랭식 또는 냉각 된 경우에만 수행 할 수 있습니다. - *3 : 보조 펌프로 2 단계 오일 로터리 펌프 (Shimadzu Industrial Systems에서 제조)를 사용할 때의 값.
- *4 : 보호 그물이 없을 때의 값.
n 보호 그물을 사용할 때2가스의 배기 속도는 260 L/s입니다. - *5 :이 값은 흡기로부터의 배기 가스 유량이 0 ml/min 일 때 지속적으로 작동 할 수 있습니다.
- *6 : ISO 플랜지 사양을 사용한 측정 값.