특별 에세이
웨이퍼 이물질 성분 검사 검사 장치 PARC-2408
Shimazu Review 55 [3/4] 249-258 (3/1999.3)
요약
이 기사는 웨이퍼 외국 물질 구성 검사 장치 PARC-2408의 개요와 기능을 제공합니다.
이 장치는 광학 외국 물질 검사 장치의 외국 물질 좌표를 연결하고 SE (2 차 전자) 이미지 및 광학 현미경 이미지의 모양을 검토 할뿐만 아니라 전자 빔 조사로 인한 특징적인 X- 선을 검출하여 외래 물질에 포함 된 요소 종의 확인을 허용합니다.
X- 선 프로파일을 신중하게 분석함으로써 금속 AL 및 산화물 AL (Alumina)과 같은 요소의 화학적 결합 상태를 구별 할 수 있습니다.
이 장치에는 외국 문제 데이터베이스가 있으며, 단독 또는 바카라 사이트 추천 공장에 사용되는 결함 관리 시스템 (DMS)과 같은 데이터베이스와 연결함으로써 검사 결과는 즉시 외국 문제의 원인에 연결될 수 있습니다.
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