특별 에세이
웨이퍼 이물질 성분 바카라 사이트 추천 바카라 사이트 추천 장치 PARC-2408
Shimazu Review 55 [3/4] 249-258 (3/1999)
요약
이 기사는 웨이퍼 외국 물질 구성 바카라 사이트 추천 장치 PARC-2408의 개요와 기능을 제공합니다.
이 장치는 광학 외국 물질 바카라 사이트 추천 장치의 외국 물질 좌표를 연결하고 SE (2 차 전자) 이미지 및 광학 현미경 이미지의 형태를 검토 할뿐만 아니라 전자 빔 조사로 인한 특징적인 X- 선을 검출하여 외래 물질에 포함 된 원소 종을 식별 할 수 있습니다.
X- 선 프로파일을주의 깊게 분석함으로써 금속 AL 및 산화물 AL (Alumina)과 같은 요소의 화학적 결합 상태를 구별 할 수 있습니다.
이 장치에는 외국 문제 데이터베이스가 있으며, 단독 또는 바카라 사이트 추천 공장에 사용되는 DMS (Defect Management System)와 같은 데이터베이스와 연결함으로써 바카라 사이트 추천 결과는 즉시 외국 문제의 원인에 연결될 수 있습니다.
1표면/바카라 사이트 추천 장비 섹션
2표면/바카라 사이트 추천 장비 부서 Kohiro
3소프트웨어 개발 센터
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.