Shimazu Review Vol. 56 [3 ・ 4] (1999)
특별 기능 환경 바카라 필승법 및 측정 II

일반 종이

Shimazu Review 56 [3/4] 175-179 (2000.2)

요약

초고 해상도 각도 제어 시스템은 스테핑 모터의 인터 폴 스플릿 드라이브, Piezoelectric Elements의 미세 움직임 및 회전 인코더를 사용한 피드백 제어를 사용하여 개발되었으며, 고해상도 및 고해상도 및 고출력이 필요한 순차적 ICP 방출 바카라 필승법기의 회절만큼 구동 메커니즘에 적용되었습니다.

¹표면 및 반도체 기술 부서
²생산 기술 연구소
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.

*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.