특별 에세이
액체 재료 기화기 SLVS-4410
실시간 바카라 Review 58 [1, 2] 3-9 (2001.12)
요약
차세대 반도체 제조 공정을위한 액체 재료 기화기 SLVS-4410.
액체 재료 기화기 SLVS-4410은 CVD (화학 증기 증착) 방법을 사용하여 필름 형성 공정을 통해 필름 형식 가스를 공급하는 장치이며, DRAM 또는 Feram과 같은 미세한 고로 전기 커패시터 필름 제형에 사용됩니다. 메인 기화기에서, 스프레이 스프레이 타입 기화기는 DRAM 커패시터 필름에 사용되는 주류 BST 재료 인 THF (Tetrahydrofuran) 용액의 액체 재료를 수용하기 위해 채택되었다. 기화기 내부의 잔류 물의 생성은 억제 될 수 있으며, 이는 오랫동안 CVD 필름 형성 가스의 안정적인 공급을 허용 할 수있다.
1기술 부서의 산업 기계 부서
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