특별 에세이
Shimazu Review 58 [1, 2] 11-16 (2001.12)
요약
저자들은 백 펌프와 함께 사용되는 자기 베어링 타입 터보 분자 펌프를 상용화하여 진공 용기의 내부를 매우 높은 진공 상태로 배출했습니다.
반도체 제조 공정에서 고속 고속 배기 가스를 수용하고 웨이퍼 크기 (300mm)를 늘릴 수있는 터보 분자 펌프에 대한 수요가 증가했으며, 우리는 큰 유량 속도를 대체 할 수있는 새로운 시리즈를 도입 하여이 라인업을 도입했습니다.
실제 기계의 프로토 타입 전에 날개 모양 설계 시뮬레이션 기술이 설정되어 대상 가스 배기 흐름 특성을 달성 할 수 있는지 고려할 수 있습니다.
터보 분자 펌프의 로터 블레이드는 복잡한 모양을 가지며 고속으로 회전하므로 안전을 보장하기 위해서는 큰 흐름 변위 동안 로터 온도를 줄여야합니다. 부식성 가스 배기 응용에 대한 개선 된 부식 저항에 대한 요구도있다. 우리는 로터 온도를 줄이고 부식 저항을 향상시키는 분산 도금 기술을 개발했습니다.
정격 회전 속도 설정을 변경할 수있는 전원 공급 장치에 새 안전한 바카라 사이트이 추가되었습니다.
안전한 바카라 사이트은 펌프와 전원 공급 장치 장치가 이전 모델의 크기를 증가시키지 않으면 서 큰 흐름 변위가 가능하다는 것입니다.
1기술 부서 산업 기계 부서
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된시기에 이루어집니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.