특별 에세이
회절 효율 분석 프로그램 개발 및 최적 선택 규칙 조사
실시간 바카라 Review 62 [3/4] 193-199 (2006.3)
요약
회절 효율을 위해 다양한 분석 방법이 제안되었지만, 모든 분석 방법의 계산 정확도를 향상시키기 위해 더 미세한 요소를 설정하거나 더 높은 푸리에 시리즈 구성 요소를 계산하는 것은 불가능합니다. 일반적으로, 이들은 거대한 매트릭스 문제에 기인하며, 현재 상황은 산술 단위 (CPU 속도, 메모리 용량)의 기능으로 인해 어떤 종류의 제약 조건을 겪어야한다는 것입니다. 이 논문은 엄격한 커플 링파 분석 (RCWA) 및 경계 요소 방법 (BEM)과 같은 전형적인 분석 방법에 대한 이론을 소개합니다. 각각의 분석 방법에 적합한 파장 범위는 이론적으로 고려되며, 파장 범위의 유효성은 실험 및 분석 결과와 비교하여 결정된다.
1디자인 기술 센터
2양자 빔 응용 연구 부서, 일본 원자 에너지 기관
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