특별 에세이
부진한 빛 회절 격자 "lo-ray-lighTM) "개발
바카라 실시간 Review 64 [1, 2] 25-31 (2007.9)
요약
저자는 회절 사양 (크기, 그루브의 수, 불량 파장 등)에 관계없이 독립적으로 측정 할 수있는 레이저 형 스트레이 라이트 측정 바카라 실시간를 개발하여 회절로부터 길 잃은 빛의 원인을 조사하고 길 잃은 빛의 값을 감소시켰다. 이 측정 바카라 실시간를 사용한 길 잃은 빛 측정은 실제 분광 바카라 실시간의 길 잃은 빛과 상관 관계가 있음을 확인했습니다. 따라서, 회절 격자 제조 공정 에서이 측정 바카라 실시간를 사용함으로써, 각 공정 단계에서 길 잃은 광 값의 정량적 측정을 통해 수치 정보는 길 잃은 빛에 영향을 미치는 것으로 이해 될 수있다. 결과적으로, 우리는 제조 공정 중 노출 및 에칭 프로세스가 길 잃은 빛에 중대한 영향을 미치며,이 두 단계에 중점을 두어 평가 척도로서이를 제조 공정으로 다시 공급하여 새롭고 고유 한 노출 방법을 개발했습니다. 또한, 에칭 프로세스를 동시에 최적화 한 결과, 길 잃은 빛이 성공적으로 감소되었고, 길 잃은 빛 회절 격자 "Loray-LighTM)"가 성공적으로 개발되었습니다.
1Civil Products Division
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