특별 에세이

Shimazu Review 67 [1, 2] 61-69 (2010.9)

요약

저자는 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 기술을 에볼루션 바카라하여 실리콘 웨이퍼에 유량 경로가 형성된 칩 컬럼을 개발했으며, 내장 칩 컬럼이있는 Microgas 크로마토 그래프 (μGC) 장치를 개발했습니다. 이 기사에서는 칩 컬럼 가공 및 코팅 공정과 가스 크로마토 그래프를 에볼루션 바카라한 평가 결과에 대해 설명합니다. 또한 칩 칼럼이 장착 된 프로토 타입 마이크로 GC 머신의 개발에 대해 논의하고 성능에 대해보고 할 것입니다. 칩 컬럼을 액체 상으로서 5% 페닐-/95% 디메틸-폴리 실록산으로 코팅 할 때, 기존 GC 시스템에서 이론적 단계의 수를 얻었고, 대략 35,000 단계가 얻어졌으며, 이는 모세관 컬럼의 이론적 단계의 수와 거의 동일 하였다. 칩 컬럼의 이론적 플레이트 높이의 최소값은 계산 된 값의 1.2 배이며, 제조 된 칩 컬럼은 이론적으로 예측 된 것과 유사한 성능을 갖는 것으로 밝혀졌다. 칩 컬럼이 프로토 타입 μGC 장치에서 에볼루션 바카라될 때, 이론적 단계의 수는 약 35,000이어서 이전 GC에서 칩 컬럼이 에볼루션 바카라 된 시점과 거의 동일한 결과를 초래했습니다.

¹Micro Tas Unit, Fundamental Technology 연구소
²기본 기술 연구소의 Microtas Unit의 의사 (엔지니어링)
³분석 측정 부서 GC ・ TA 사업 단위
⁴분석 측정 부서 마케팅 부서

*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 에볼루션 바카라할 수 없을 수도 있습니다.