특별 에세이
통합 전력 터보 분자 펌프 개발
안전한 바카라 사이트 Review 67 [3/4] 125-131 (2011.3)
요약
건축 자재, 태양 전지, 액정 디스플레이 등에 유리 유리 제조에 사용되는 대형 인라인 스퍼터링 장치에 설치된 터보 분자 펌프 (TMP라고 함)는 장치 크기를 줄이기 위해 통합 된 전원이있는 TMP가 필요합니다. 특히 유럽과 중국에서 장비의 주요 시장 인 장비에 설치된 TMP는 전원 공급 장치 유형으로 채택 되어이 분야의 주류가됩니다. 이 기사는 TMP-V2304 시리즈와 TMP-V3304 시리즈를 소개하며, 이는 통합 전원 TMP로 개발 및 상용화되었습니다.
1반도체 장비 부서 TMP 사업 단위
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