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동생의 ROHS 명령 요소의 X-RAY 형광 분석 EDX 대
바카라 Review 69 [1, 2] 181-188 (2012.9)
요약
CD 및 PB와 같은 ROHS 명령 요소의 분석은 에너지 분산 X- 선 형광 분석기 (EDX)를 사용하여 수행되지만 샘플이 도금과 같은 박막 인 경우 양적 값이 두께에 의해 영향을 받는다는 문제가 있습니다. 따라서, 필름 두께를 측정하고, 결과를 사용하여 정량적 값을 수정하는 방법을 조사 하였다.
교정 곡선 방법을 사용하여 SN 도금 된 구리의 저항 단자에서 PB 함량을 측정하고, SN 필름 두께는 기본 매개 변수 방법 (FP 방법)을 사용하여 측정되었으며, 결과적으로 PB 함량은 313.4 ppm이고 도금 두께는 9.1 μm로 계산되었다. 다음으로, SN 도금의 두께로부터 결정된 필름 두께 보정 계수를 사용하여 교정 곡선 방법을 사용하여 정량적 값을 보정하였고, PB 함량은 최종적으로 272.7 ppm에 도달 하였다. 이 값은 대략적으로 형상의 영향을받지 않는 에너지 분산 마이크로-파트 형광 X- 선 분석기 (μedx)에 의해 269 ppm의 정량적 값과 일치 하였다.
또한,이 보정 방법은 터미널, 다이오드 터미널, 와셔 등을 표시하기 위해 적용되었으며, μedx의 결과와 비교할 때, 양적 값은 두 경우 모두 거의 동일 하여이 방법이 효과적임을 확인했습니다.
1분석 측정 부서 글로벌 응용 프로그램 개발 센터
2CS 일반 부서 자료 분석 센터
3바카라 포괄적 인 분석 및 시험 센터, Ltd.
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