특별 에세이
모든 솔리드 스테이트 딥 UV 펄스 레이저 및 응용 프로그램 개발
바카라 규칙 Review 69 [3/4] 293-302 (2013.3)
요약
266 nm의 파장을 갖는 모든 고형 상태 깊은 자외선 (DUV) 펄스 레이저는 레이저 다 광자 이온화의 광원으로 개발되었습니다. 레이저의 단축으로 인해 높은 피크 전력을 얻기 위해, 우리는 더 짧은 펄스를 달성하는 것을 목표로하는 외부 공진기의 제 2 고조파 생성 방법과 더 높은 효율을 달성하는 것을 목표로하는 두 번째 고조파 생성 방법을 사용하여 녹색 펄스 생성을 조사했습니다. 두 방법 모두에서, 10kW 이상의 피크 전력을 갖는 266 nm 광학 펄스가 1kHz 이상의 반복 주파수에서 얻어졌다. 개발 된 DUV 레이저는 FIB 광 이온화 나노 매스 이미징 장치에 설치되었으며, 광 이온화에 의한 유기물 매핑은 실제 측정 시간 동안 성공적으로 얻어졌다. 또한 진동 파장 범위를 확장하기 위해이 레이저를 여기 레이저로 사용하여 조정 가능한 레이저 적용을 수행했습니다.
1장치 부서 센서 및 장치 사업부, PhD (Science)
2장치 부서 센서 및 장치 사업 단위
3국립 자연 과학 연구소의 분자 과학 연구소의 박사 (공학) 대학 공동 사용 조직, 회사
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