특별 에세이
수지에 대한 고속 스퍼터링 필름 형성 메커니즘에 대한 연구
바카라 필승법 Review 72 [3/4] 195-202 (2016.3)
요약
고속 스퍼터링 필름 형성 방법은 기존의 스퍼터링 필름 형성 장치와 비교하여 짧은 시간에 더 나은 반사율과 3 차원 모양으로의 순환이 더 우수한 금속 박막의 형성을 가능하게합니다. 그러나, 메타 크릴 수지 (아크릴)는 금속 박막에 대한 접착력이 낮으며, 표면에 적절한 금속 박막을 형성하기가 일반적으로 어렵고, 고속 스퍼터링 필름에서도 껍질은 발생한다. 이것의 원인은 수지의 표면이 스퍼터링에 의해 포용되고 Al 필름이 손상 층에서 벗겨 졌다는 것이 밝혀졌다. 스퍼터링 중에 수지 표면 손잡이 표면, 즉 수지 표면의 분자 사슬의 분해를 방지하기 위해, 우리는 우수한 접착력을 갖는 SI-O 결합을 함유하는 화합물 층을 증착하여 접착력을 개선하는 방법을 발견했다.
1기본 기술 연구 연구소 방사선 장치 유닛
2산업 기계 부서 비즈니스 개발 부서
3바카라 필승법 Emit Co., Ltd.
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